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标准简介:本标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片的抗弯强度测试方法。本标准适用于晶向为〈111〉和〈100〉的直拉、悬浮区熔硅单晶片的常温下抗弯强度的测量。硅片厚度为250~900μm。
标准号:GB/T 15615-1995
标准名称:硅片抗弯强度测试方法
英文名称:Test method for measuring flexure strength of silicon slices
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:作废
发布日期:1995-07-12
实施日期:1996-02-01
中国标准分类号(CCS):冶金>>金属理化性能试验方法>>H23金属工艺性能试验方法
国际标准分类号(ICS):冶金>>金属材料试验>>77.040.01金属材料试验综合
起草单位:中南工业大学
归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位:国家技术监督局
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