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标准简介：本标准规定了半导体设施接口技术文件编写的基本要求和格式。本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。

标准号：GB/T 15873-1995

标准名称：半导体设施接口技术文件编写导则

英文名称：Directives for drafting semiconductor facilities interface specification

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1995-01-02

实施日期：1996-08-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备

国际标准分类号（ICS）：电子学>>电子电信设备用机电零部件>>31.220.10插头和插座装置、连接器

起草单位：中国华晶电子集团公司

归口单位：信息产业部（电子）

发布单位：国家技术监督局

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